什么是mems技术

MEMS（Micro Electro Mechanical System）是一种微型化的电子机械系统技术，将微纳制造技术、电子技术和机械技术相结合，制造微型化的传感器、执行器和微机电系统等。

该技术具有体积小、重量轻、功耗低、响应快等优点，被广泛应用于汽车、医疗、航空航天等领域。